測量范圍	X方向	100mm
	Z1（傳感器）	20mm
	高度	300mm
	*小內(nèi)孔	30mm (換小測針可測更小內(nèi)徑)
測量范圍 （粗造度）	X軸	Ra： 0.005 um ~ 16.00 um
	Z1軸	±20um，±40um，±80um
	取樣長度L	0.25 ， 0.80 ， 2.50，自動
	評定長度	1L~5L（可選，L為取樣長度）
	測量行程長度	3L~7L（可選，L為取樣長度）
測量精度	X方向 （L=X軸移動導(dǎo)軌距離）	±（1+2L/100）μm
	Z方向 （H=Z軸方向測量高度）	±（1.8+3H/100）μm
示值精度（粗造度）		0.001um
示值誤差（粗造度）		≤±7%
傳感器	類型	電感傳感器
	分辨率	0.02μm
	產(chǎn)地	進(jìn)口
X軸	直線度	0.20μm /60mm
	分辨率	0.5μm
	產(chǎn)地	進(jìn)口
爬坡角度		上升77度 下降88度
測針	針尖形狀（輪廓）	單切面、錐形
	針尖角度（粗糙度）	90度
測量速度（輪廓）		0.02mm至4.0mm/s
速度（粗造度）	*大驅(qū)動行程長度	17.5mm / 0.71 inch
	*小驅(qū)動行程長度	1.3mm / 0.052 inch
測量方式		傳感器移動
工作壓力		0.35～0.43Mpa
氣源壓力		0.45～0.80Mpa
氣源流量		≥0.2 m3/min
電源		AC 220V±10%  50Hz
環(huán)境要求		溫度：10～30℃；相對濕度：＜85%

        該儀器為直角坐標(biāo)測量法，觸針接觸式。機(jī)械部份采用精密氣浮直線運(yùn)動導(dǎo)軌，建立X坐標(biāo)的精密測量基準(zhǔn)，Z坐標(biāo)由電感傳感器構(gòu)成，可以測量各種精密機(jī)械零件的素線形狀。本儀器由于基準(zhǔn)直線運(yùn)動采用精密氣浮導(dǎo)軌，故移動精度高、穩(wěn)定性好、壽命長、而且運(yùn)動靈活性好、直線性好、操作方便。運(yùn)動距離采用進(jìn)口光柵尺計量，X軸的尺寸坐標(biāo)**,數(shù)據(jù)采集及數(shù)據(jù)處理均采用計算機(jī)，故測試精度高、功能多，又可方便打印和存檔，為用戶帶來很大的方便。

機(jī)械部分	大理石工作臺面及主機(jī)儀器架
	氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)
	方立柱系統(tǒng)
	傳感器系統(tǒng)
	進(jìn)口光柵尺系統(tǒng)
	調(diào)整工作臺	水平調(diào)整系統(tǒng)
		回轉(zhuǎn)及角度調(diào)試系統(tǒng)
		平口裝夾系統(tǒng)
	校正標(biāo)準(zhǔn)件一套
	測針與測桿	Φ2*18mm  斜測針  2根
		Φ2*18mm 尖測針  2根
		Φ5*120mm 測桿    1根
空氣過濾系統(tǒng)
電器部分	電器控制系統(tǒng)
	工業(yè)控制計算機(jī)	工控主板 NORCO950
		工控底板 NORCO PBP-14P4
		CPU E5500
		金士頓 2G 三代
		硬盤SEAGATE 500G
		17″普屏液晶
		基于win XP系統(tǒng)下MMD測量軟件
	HP噴墨打印機(jī)
電腦桌